| Der Excimer lasert sehr genau. |
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Excimer Ein Excimer (excited dimer = angeregtes Dimer) ist ein kurzlebiges Bindungsprodukt zweier Moleküle/Atome, welches nur in angeregtem Zustand besteht. Sobald es wieder in den elektronischen Grundzustand übergeht, zerfällt es in seine molekularen Komponenten, die sich oftmals stark abstoßend verhalten. In seiner strengen Definition gebraucht, müssen die Komponenten des Excimer-Moleküls der gleichen Art sein. Handelt es sich um unterschiedliche Moleküle oder Atome, spricht man von einem Exciplex. In der technischen Literatur wird jedoch fast ausschließlich der Begriff Excimer verwendet. Angewendet werden diese Moleküle zum Bau von Excimerlasern. Die für die Lasertechnik notwendige Besetzungsinversion ist bereits durch die Molekülbildung gegeben, da hierbei der Grundzustand nicht besetzt sein darf. Die Zerfallszeit beträgt i.A. wenige Nanosekunden (ns). Praktische Bedeutung haben Excimerlaser erlangt, die im ultravioletten Spektralbereich emittieren. Das laseraktive Medium besteht hierbei aus Argonfluorid (ArF), Kryptonfluorid (KrF) oder Xenonchlorid (XeCl). Sie finden Einsatz in der Medizintechnik und in der Lithographie, einem Bereich der Halbleiterherstellung. Weitere Informationen zum Thema Excimer finden Sie hier! |
